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近年来国际上出现的一些新型MEMS光开关,包括其结构、驱动方式、规模等.并且通过对基于各种不同工作机理的光开关之间,性能、结构及可实行产业化程度等各方面数据的分析比较,认为MEMS光开关在现代光通讯领域具有较好的应用发展前景.
MEMS光开关技术的研究进展
【摘 要】
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近年来国际上出现的一些新型MEMS光开关,包括其结构、驱动方式、规模等.并且通过对基于各种不同工作机理的光开关之间,性能、结构及可实行产业化程度等各方面数据的分析比较,
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2003年3期
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