高质量金刚石自支撑膜织构与断裂强度的关系研究

来源 :金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cbg668

【摘要】

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利用直流电弧等离子体喷射化学气相沉积在Mo基体上制备了不同织构的金刚石厚膜.用扫描电境(SEM)观察金刚石膜的形貌,用XRD表征晶体取向,用极图和取向分布函数法计算金刚石膜

【作者】

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杨胶溪吕反修毛卫民左铁钏

【机构】

：

北京工业大学激光工程研究院,北京科技大学材料科学与工程学院

【出处】

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金属热处理

【发表日期】

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2005年6期

【关键词】

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金刚石膜自支撑织构断裂强度 diamond films freestanding texture fracture strength

【基金项目】

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国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金

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利用直流电弧等离子体喷射化学气相沉积在Mo基体上制备了不同织构的金刚石厚膜.用扫描电境(SEM)观察金刚石膜的形貌,用XRD表征晶体取向,用极图和取向分布函数法计算金刚石膜的不同织构,利用三点弯曲法测量金刚石膜的断裂强度.结果表明,金刚石膜的断裂强度随着衍射峰强度比值I(111)/I(220)的增大而不断降低.{110}织构的金刚石膜具有最高的断裂强度.

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