【摘 要】
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离子束技术是一门新兴的、应用性很强的交叉学科.它与材料科学、微电子学、核技术及表面科学有着密切的联系,并广泛应用于材料和能源等工业部门. 中国科学院上海冶金研究所离
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离子束技术是一门新兴的、应用性很强的交叉学科.它与材料科学、微电子学、核技术及表面科学有着密切的联系,并广泛应用于材料和能源等工业部门. 中国科学院上海冶金研究所离子束研究室(以下简称上海冶金所离子束研究室)是我国最早开始离子束研究的单位之一.十多年来,在离子束
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