掺杂(硼和磷)a-Si_(1-x)C_x:H膜中氢含量的测量

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【摘要】

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本工作用IR法研究了a·Si_(1-x)Cx:H(x～0.2)膜中掺杂(B和P)对H键合特性的影响,并对样品含H量作了定量分析. In this work, the influence of doping (B and P) on the H-bond

【作者】

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陈光华张仿清徐希翔清水立生

【机构】

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兰州大学物理系,兰州大学物理系,兰州大学物理系,日本金沢大学工学部

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1986年05期

【关键词】

：

本工非晶硅太阳电池氢含量 a-Si x)C_x 转换效率非晶态半导体吸收峰值界面反射窗口材料

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本工作用IR法研究了a·Si_(1-x)Cx:H(x～0.2)膜中掺杂(B和P)对H键合特性的影响,并对样品含H量作了定量分析. In this work, the influence of doping (B and P) on the H-bonding properties of a-Si_ (1-x) Cx: H (x ~ 0.2) films was investigated by IR method and the content of H in the samples was quantitatively analyzed .

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