【摘 要】
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计算机模拟是计算机技术的一个重要应用领域，具有高效、快捷、经济等多种特点．以Cu膜为例用Monte Carlo算法模拟了薄膜生长的随机过程，并提出了更加完善的模型．在合理选择原子间
【机 构】
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兰州大学博士后工作站,兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州城市学院电子信息科学与技术研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金（10574059）、中国博士后基金（31411）、兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室开放基金（K04001）和甘肃省自然科学基金（3ZS042-B25-033）资助项目.
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计算机模拟是计算机技术的一个重要应用领域，具有高效、快捷、经济等多种特点．以Cu膜为例用Monte Carlo算法模拟了薄膜生长的随机过程，并提出了更加完善的模型．在合理选择原子间相互作用计算方法的基础上，考虑了原子的吸附、在生长表面的迁移及迁移所引起的近邻原子连带效应、从生长表面的脱附等过程．利用自行编写的4个软件模拟计算了薄膜的早期成核情况以及表征薄膜生长表面状况的粗糙度和表征薄膜内部晶格完整性的相对密度．结果表明，随着衬底温度的升高或入射率的降低，沉积在衬底上的原子逐步由众多各自独立的离散型分布向聚
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