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超微细电极的获得和工艺过程控制是电化学加工的关键,给出了超微细电极制备及其在高精度三维金属结构加工中的应用研究结果.采用电化学腐蚀法制备微细电极,通过测量回路中的电阻变化值控制电极直径,加工出直径为3 μm～20μm的单个微细电极和直径为40 μm的微细群电极.在电极制备基础上,进行微细孔/缝结构小间隙加工和脉冲加工实验,获得了直径为110 μm的群孔和20 μm宽度的槽.