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先进技术微通道板 (AT-MCP)
先进技术微通道板 (AT-MCP)
来源 :长春光学精密机械学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wy299
【摘 要】
:
描述一种新型的微通道板,即先进技术微通道板(AT-MCP)。指出目前还原铅硅玻璃微通道板(RLSG-MCP)所存在的缺点,同时对二者进行了比较。指出了AT-MCP的优点及其在新应用中的意
【作 者】
:
姜德龙
富丽晨
李野
卢耀华
田景全
王桂芬
孟素英
【机 构】
:
长春光学精密机械学院光电技术研究所,长春光学精密机械学院光电技术研究所,长春光学精密机械学院光电技术研究所,长春光学精密机械学院光电技术研究所,长春光学精密机械学院光电技术研究所,长春光学精密机械学院
【出 处】
:
长春光学精密机械学院学报
【发表日期】
:
1996年03期
【关键词】
:
先进技术
微通道板
离子刻蚀
化学气相沉积
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描述一种新型的微通道板,即先进技术微通道板(AT-MCP)。指出目前还原铅硅玻璃微通道板(RLSG-MCP)所存在的缺点,同时对二者进行了比较。指出了AT-MCP的优点及其在新应用中的意义。
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