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综述了目前国内外主要MEMS继电器的原理和典型结构,包括静电型、电磁型、电热型、液态型及混合型微继电器,并对各种类型微继电器的特点进行了比较。
MEMS继电器典型结构及其研究进展
【摘 要】
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综述了目前国内外主要MEMS继电器的原理和典型结构,包括静电型、电磁型、电热型、液态型及混合型微继电器,并对各种类型微继电器的特点进行了比较。
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2011年07期
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