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精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型，分析工作台在不同固定方式下的温度变化对定位精度的影响，给出了基于温度精密测量的工作台定位精度实时补偿方法，并通过实验对补偿方法的效果进行了验证，证明方法有十分明显的补偿效果。
提高精密工作台定位精度的温度补偿研究
【摘 要】
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精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型，分析工作台在不同固定方式下的温度变化对定位精度的影响，给出了基于温度精密测量的工
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院精密仪器及机械系
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2010年3期
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