【摘 要】
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采用有限元模拟法研究三维集成电路集成中硅通孔结构在热循环载荷条件下的失效行为，对硅通孔结构的应力应变进行分析。结果表明，硅通孔结构在热循环载荷下顶部Cu焊盘角落附近的SiO2层处具有最大的应力与应变，这表明硅通孔结构中最易失效位置在顶部Cu焊盘角落附近Cu和SiO2的界面处。试验结果与模拟分析一致，进一步验证了模拟结果对硅通孔结构最易失效位置分析的可靠性。
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采用有限元模拟法研究三维集成电路集成中硅通孔结构在热循环载荷条件下的失效行为，对硅通孔结构的应力应变进行分析。结果表明，硅通孔结构在热循环载荷下顶部Cu焊盘角落附近的SiO2层处具有最大的应力与应变，这表明硅通孔结构中最易失效位置在顶部Cu焊盘角落附近Cu和SiO2的界面处。试验结果与模拟分析一致，进一步验证了模拟结果对硅通孔结构最易失效位置分析的可靠性。
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