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1、产品及其简介rn公司立足自主创新,攻克了12英寸硅单晶生长的热场设计和安全、杂质和缺陷的控制、硅片几何参数的精密控制、表面金属和颗粒的去除等关键技术难题,形成了从单晶生长到晶片加工、处理和检测的自有成套技术,并利用该套技术开发成功直径12英寸硅单晶抛光片新产品,填补了国内空白.
直径12英寸硅单晶抛光片
【摘 要】
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1、产品及其简介rn公司立足自主创新,攻克了12英寸硅单晶生长的热场设计和安全、杂质和缺陷的控制、硅片几何参数的精密控制、表面金属和颗粒的去除等关键技术难题,形成了从
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2007年7期
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