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利用时域有限差分法对不同材料和厚度衬底上矩形孔金属结构太赫兹（THz）波的透射特性进行了数值分析。研究表明：矩形孔金属阵列对THz光谱具有频率选择特性，这为太赫兹滤波功能器件的开发提供了基础。在实际应用中，这种金属微结构常常需要制备在某种衬底上，而衬底材料及厚度无疑会对其太赫兹透射特性带来影响。研究了不同衬底材料和衬底厚度的矩形孔金属结构太赫兹透射性质，通过数值模拟研究发现，对于同一种衬底材料，随着衬底厚度的增加，矩形孔金属结构的透射峰峰位向低频移动。比较高阻硅和聚四氟乙烯两种衬底材料发现，高介电常数的硅衬底引起的透射峰移动更为明显。