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由于电火花线切割放电过程很难通过理论分析得到有效的切割机理数学模型。引入中心复合实验设计（Central composite design，CCD）实验方法，建立四因素三水平的单晶Si电火花线切割的实验方案。采用响应曲面法（Response surface methodology，RSM）建立单晶Si表面粗糙度和材料去除率与空载电压、脉冲宽度、脉冲间隔和运丝速度等主要工艺参数的二阶数学模型并进行分析。分析结果表明：预测模型具有较好的拟合度和适应性。并以提高单晶Si表面的加工质量和材料去除率为目标建立工艺参