氩气压强对直流磁控溅射ZnO:Al薄膜结构和性能的影响

来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jcmmdq
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
基于Al2O3掺杂量为3wt%的氧化锌铝陶瓷靶材,采用直流无反应磁控溅射法在载玻片衬底上制备了ZnO:Al透明导电薄膜.研究了氩气压强对薄膜微观结构和光电性能的影响.结果表明:氩气压强对薄膜的平均透光率影响微小,其值均在86%以上,但对薄膜的微观结构和方块电阻有非常明显的影响.随着氩气压强的增大,薄膜的晶粒形状由片状向球状变化,并呈现出c轴择优生长特性.氩气压强在0.6~3.0 Pa范围内增长时,薄膜的方块电阻先缓慢减小,2.0Pa后急剧增大.在压强为1.5Pa时,薄膜具有最好的电学性能,其电阻率为1.4
其他文献
将纳米羟基磷灰石(Hap)分散在不同pH值胶原稀溶液中,从而得到羟基磷灰石/胶原分散体系.在原子力显微镜(AFM)下观察,发现当pH≈2.5时,在酸溶的胶原溶液中获得高分散性的胶原包
数学是学好其他学科的基础和前提,数学的应用已经深入到自然科学、技术科学和社会人文科学的各个领域,想要攀登科学的高峰,高深的数学素养是首先要具备的。初中数学教学工作是培养一个人数学素养的关键阶段,所以作为学生数学启蒙的数学教师,应该在教学的过程中,不断积累行之有效的教学方法和经验,培养学生良好的数学素养。  从我教学的这段时间里,我深刻的认识到,针对数学这门相对抽象的学科,掌握好的教学方法是非常重要
本文研究了丁苯乳液SD622S改性水泥砂浆的物理性能,包括新拌砂浆的减水率、保水率、体积密度、凝结时间,硬化砂浆的体积密度、孔隙率、毛细孔吸水率等.实验结果表明:丁苯乳液
文章根据我国相对庞大的人口基数和资源及保护和利用现状,提出了中国生态恢复的五大战略。
自建国至今,我国的民主政治建设取得很大成就,综合表现在制度建设不断完善,公民政治参与取得了长足的进步和基层民主政治建设不断发展等方面。但由于多方面的原因,民主政治建设也