【摘 要】
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为了检测光刻机掩模板或玻璃基板表面的杂质颗粒,结合米氏散射理论与暗场检测原理,通过杂质颗粒在固定空间角的散射光能量来标定颗粒的数目与尺寸。以激光整形光路形成均匀性良好的线型激光对样品表面进行照明,在非反射方向使用线阵CCD相机进行散射光的收集。基于图像算法对采集的颗粒散射图像进行单颗粒灰度和统计,结合统计学规律实现颗粒尺寸与相机灰度和的关系标定,从而实现突破相机像素分辨限制的快速颗粒检测。
【机 构】
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上海微电子装备（集团）股份有限公司
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为了检测光刻机掩模板或玻璃基板表面的杂质颗粒,结合米氏散射理论与暗场检测原理,通过杂质颗粒在固定空间角的散射光能量来标定颗粒的数目与尺寸。以激光整形光路形成均匀性良好的线型激光对样品表面进行照明,在非反射方向使用线阵CCD相机进行散射光的收集。基于图像算法对采集的颗粒散射图像进行单颗粒灰度和统计,结合统计学规律实现颗粒尺寸与相机灰度和的关系标定,从而实现突破相机像素分辨限制的快速颗粒检测。
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