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化学法制备光学薄膜及其应用
化学法制备光学薄膜及其应用
来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z11272037
【摘 要】
:
概要综述了用化学法制备光学薄膜的浸渍镀膜法、旋转镀膜法、喷溅镀膜法、流延法、弯月面镀膜法和涂布镀膜法等方法,及其薄膜特性,诸如折射率、激光损伤阈值、机械强度等的控制
【作 者】
:
沈军
王珏
等
【机 构】
:
同济大学波耳固体物理研究所
【出 处】
:
原子能科学技术
【发表日期】
:
2002年4期
【关键词】
:
制备
光学薄膜
应用
化学法
性能
浸渍镀膜法
旋转镀膜法
喷溅镀膜法
流延法
chemical method
thin film
application
【基金项目】
:
国家自然科学基金,国家自然科学基金,上海市青年科技启明星计划,教育部高校骨干教师资助计划,国家高技术研究发展计划(863计划),国家重点实验室基金
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概要综述了用化学法制备光学薄膜的浸渍镀膜法、旋转镀膜法、喷溅镀膜法、流延法、弯月面镀膜法和涂布镀膜法等方法,及其薄膜特性,诸如折射率、激光损伤阈值、机械强度等的控制技术,并展望了某些新型光学薄膜的应用前景。
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