LTCC多层基板双面腔体制造技术

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根据双面腔LTCC基板的结构特点,对其进行了分类.在介绍LTCC带腔基板的加工制造流程基础上,阐述了双面腔LTCC基板制造的三种方案.结合实验测试结果,对比分析了每个方案的优缺点和适用范围,最后指出双面腔制造方案要结合结构特点和设备条件进行优选.
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