【摘 要】
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单频激光干涉仪具有信号处理过程简单、易于集成、系统结构简单等特点.基于迈克尔逊干涉基本原理和海德曼椭圆拟合修正方法,提出了一种新型的非线性误差计算方法,设计了对位移非线性误差进行检测和分析的系统.该系统可以分离测量系统的非线性误差,并在改变测量条件时精确观察非线性误差的变化情况,为测量系统非线性误差的补偿提供借鉴.
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;合肥工业大学电子科学与应用物理学院
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单频激光干涉仪具有信号处理过程简单、易于集成、系统结构简单等特点.基于迈克尔逊干涉基本原理和海德曼椭圆拟合修正方法,提出了一种新型的非线性误差计算方法,设计了对位移非线性误差进行检测和分析的系统.该系统可以分离测量系统的非线性误差,并在改变测量条件时精确观察非线性误差的变化情况,为测量系统非线性误差的补偿提供借鉴.
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