【摘 要】
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本文对耐压要求为700V的LDMOS进行了研究。通过分析影响LDMOS参数的各种因素,以BCD工艺为基础,借助模拟软件Tsuprem4及MEDICI对Double-Resurf和多晶场板结构的LDMOS进行了工
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,
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本文对耐压要求为700V的LDMOS进行了研究。通过分析影响LDMOS参数的各种因素,以BCD工艺为基础,借助模拟软件Tsuprem4及MEDICI对Double-Resurf和多晶场板结构的LDMOS进行了工艺器件联合仿真,优化了LDMOS的设计。对Psub-Nwell和Psub-nepi两种结构的LDMOS进行了比较,Psub-nepi结构相对于Psub-Nwell具有均匀的电流通道,当耐压为700v时比导通电阻可降低为20ohm.mm2。
In this paper, LDMOS with breakdown voltage requirement of 700V has been studied. Based on the BCD technology and the simulation software Tsuprem4 and MEDICI, the LDMOS of Double-Resurf and polycrystalline field plate structure was simulated by BCD process and the design of LDMOS was optimized by analyzing the various factors affecting the LDMOS parameters. Psub-newell and Psub-nepi two structure LDMOS were compared, Psub-nepi structure relative to the Psub-Nwell has a uniform current path, when the withstand voltage is 700v on-resistance can be reduced to 20ohm.mm2.
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