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针对三电极开关系统基于粒子扩散、碰撞、电离、激发等过程,建立等离子体流体—化学模型,采用有限元法,模拟真空条件下三电极开关自击穿微观过程,并与其在SF6介质中微观过程进行对比分析。仿真分析了开关从放电初始到等离子体通道形成的物理过程。结果表明,与SF 6介质相比,开关在真空条件下等离子体通道电子密度数较多、电子温度较低;开关等离子体通道电子密度和电子温度随间距增加而增加。