用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统

来源 :南华大学学报(理工版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：sunyb_sky

【摘要】

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设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统,采用三菱PLC和EasyView触摸屏,具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能.文中介绍了PLC控制系统硬件与软件结构,以及对靶单元

【作者】

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【机构】

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南华大学

【出处】

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南华大学学报(理工版)

【发表日期】

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2003年3期

【关键词】

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设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统,采用三菱PLC和EasyView触摸屏,具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能.文中介绍了PLC控制系统硬件与软件结构,以及对靶单元实现闭环控制,获得稳定靶电流情况.

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