论文部分内容阅读
<正> 低温等离子体是以低气压放电(辉光、电晕、高频、微波)产生的电离气体,其中蕴含着丰富的活性粒子,可以引起种种化学反应。处于非平衡态的低温等离子体,其电子温度 T_e>>离子温度 T_i 和气体温度 T_g。如辉光放电或射频放电产生的低温等离子体,其 T_e≈10~4K, T_g则略低二个数量级。在低温等离子体条件下进