【摘 要】
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利用金属掩模法和Ir2 2 Mn78合金反铁磁钉扎层 ,制备了四种钉扎型的Py Al2 O3 Py ,Py Al2 O3 Co ,Co Al2 O3 Py和Co Al2 O3 Co磁性隧道结 ,坡莫合金的成分为Py =Ni79Fe2 1 .
【机 构】
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天津理工学院材料科学与工程系; 北京石油化工学院数理部; 中国科学院物理研究所; 磁学国家重点实验室; 磁学国家重点实验室 天津300191; 天津3
【基金项目】
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天津市高等学校科技发展基金 (批准号 :0 1 2 0 2 16)资助的课题~~
论文部分内容阅读
利用金属掩模法和Ir2 2 Mn78合金反铁磁钉扎层 ,制备了四种钉扎型的Py Al2 O3 Py ,Py Al2 O3 Co ,Co Al2 O3 Py和Co Al2 O3 Co磁性隧道结 ,坡莫合金的成分为Py =Ni79Fe2 1 .例如 :利用狭缝宽度为 1 0 0 μm的金属掩模 ,直接制备出室温隧穿磁电阻比值为 1 7 2 %的磁性隧道结Co Al2 O3 Co,其结电阻为 76Ω ,结电阻和结面积的积矢为 76× 1 0 4 Ωμm2 ,自由层的偏转场为 1 1 1 4A m ,并且在外加磁场 0— 1 1 1 4A·m- 1 之间时室温磁电阻比值从零跳跃增加到 1 7 2 % ,磁场灵敏度达到 0 1 % (1 0 3A·m- 1 ) .钉扎型Co Al2 O3 Py的隧穿磁电阻实验曲线具有较好的方形度 .结果表明 ,这种利用金属掩模法制备的钉扎型磁性隧道结亦可用于制备磁随机存储器等原型演示器件或其他种类原型磁敏传感器件
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