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位于德国德累斯顿的DASEnvironmentalExpert公司是半导体行业废气处理企业,该企业研发出名为SALIX的新型系统。SALIX是一种有害气体清除系统,主要针对湿式蚀刻清洗台应用。SALIX利用化学和物理吸附的两阶段洗涤流程,在其源头从气流中直接清除有害物质。借助分离式出风口,有害气体从湿式蚀刻清洗台的加工腔室进入预洗涤器,后者通过使用喷嘴对气体进行预清洁。从这里开始,