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应用人工神经网络建立了激光-等离子体辅助化学气相沉积(LPCVD)工艺参数与Si3N4薄膜显微硬度的关系.并运用遗传算法优化出了最佳工艺.
人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si3N4薄膜制备工艺
【摘 要】
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应用人工神经网络建立了激光-等离子体辅助化学气相沉积(LPCVD)工艺参数与Si3N4薄膜显微硬度的关系.并运用遗传算法优化出了最佳工艺.
【机 构】
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山东大学,同济大学
【出 处】
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陶瓷学报
【发表日期】
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2002年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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