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文中介绍了一种基于LabVIEW的MOS电容C-V特性测试仪。该测试仪采用二次滤波（滤波-放大-滤波）替代传统的变频放大技术;通过数据采集卡对检测结果进行数据采集,然后通过计算机处理,并用LabVIEW编程输出结果,同时通过数据采集卡的输出来控制待测MOS电容两端电压的变化,从而实现对MOS电容的准确测量。