【摘 要】
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通过常温下压痕之后的高温热处理实验，研究了掺氮直拉硅单晶（NCZSi）中氮杂质对位错滑移的钉扎作用，以及塑性变形能在热处理过程中通过位错的滑移释放的机理，实验结果表明氮杂质对
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通过常温下压痕之后的高温热处理实验，研究了掺氮直拉硅单晶（NCZSi）中氮杂质对位错滑移的钉扎作用，以及塑性变形能在热处理过程中通过位错的滑移释放的机理，实验结果表明氮杂质对位错有着较强的钉扎作用，使掺氮直拉硅单晶中的位错在同一温度下热处理时的滑移距离均小于普通直拉硅单晶（CZSi），同时指出，NCZSi的位错激活能比CZSi的要高，NCZSi中塑性变形能通过位错滑移释放较CZSi快，并讨论了压痕造成的塑性变形能通过位错的滑移而释放的可能机理。
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