准分子激光系统中的电磁干扰及抑制方法

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准分子激光系统中的电磁干扰问题在许多应用中,特别在医疗设备中是不可忽视的一个问题.文中描述了准分子激光器中的电磁干扰的来源和干扰途径,并详细从激光放电回路、激光腔和软硬件设计角度讨论了抑制电磁干扰和提高系统可靠性的方法.
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