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准分子激光系统中的电磁干扰及抑制方法
准分子激光系统中的电磁干扰及抑制方法
来源 :光电子技术与信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lcp396526202
【摘 要】
:
准分子激光系统中的电磁干扰问题在许多应用中,特别在医疗设备中是不可忽视的一个问题.文中描述了准分子激光器中的电磁干扰的来源和干扰途径,并详细从激光放电回路、激光腔
【作 者】
:
邓国庆
朱志强
贺龙海
【机 构】
:
中国科学院安徽光学精密机械研究所
【出 处】
:
光电子技术与信息
【发表日期】
:
2005年3期
【关键词】
:
准分子激光
电磁干扰
放电回路
excimer laserelectromagnetic interferencedischarge circuit
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准分子激光系统中的电磁干扰问题在许多应用中,特别在医疗设备中是不可忽视的一个问题.文中描述了准分子激光器中的电磁干扰的来源和干扰途径,并详细从激光放电回路、激光腔和软硬件设计角度讨论了抑制电磁干扰和提高系统可靠性的方法.
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