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采用HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：haobishuiduo

【摘 要】

：

采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,

【作 者】

：

谢永军 赵福华 魏伟 赵小侠 赵卫 

【机 构】

：

中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室

【出 处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2008年1期

【关键词】

：

信息光学 HfO2/SiO2溶胶-凝胶 光栅 光敏 Information optics   HfO2/SiO2 sol-gel  Grating  Photo 

【基金项目】

：

国家自然科学基金（10402039、10272098）和中科院创新基金（0651201ZZ0）资助.致谢 感谢中国科技大学国家同步辐射实验室光刻实验站的大力支持.

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采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采用X射线作曝光光源通过掩模进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8 μm、周期为1 μm的衍射光栅.

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