【摘 要】
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npn GaAs/AlGaAs HBT是一种具有优良特性的器件,在数字、模拟及微波等方面均具有广阔的应用前景。pnp GaAs/AlGaAs HBT在互补技术应用方面也是一种很重要的器件。 《Electron
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npn GaAs/AlGaAs HBT是一种具有优良特性的器件,在数字、模拟及微波等方面均具有广阔的应用前景。pnp GaAs/AlGaAs HBT在互补技术应用方面也是一种很重要的器件。 《Electronics Letters》1991年12月发表了介绍制造npn和pnp GaAs/AlGaAs HBT的文章。近期实验表明,在HBT制造中用掺碳和锡代替掺铍和硅能减少寄生电阻与提高可靠性,且具有很好的直流和射频特性。
npn GaAs / AlGaAs HBT is a device with excellent characteristics, which has broad application prospects in digital, analog and microwave applications. pnp GaAs / AlGaAs HBT is also a very important device for complementary technologies. Electronics Letters published an article in December 1991 on the manufacture of npn and pnp GaAs / AlGaAs HBTs. Recent experiments show that the replacement of beryllium and silicon with carbon and tin in HBT manufacturing can reduce parasitic resistance and improve reliability, and has good DC and RF characteristics.
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