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用X-ray衍射(XRD)方法研究了磁控溅射制备的MmNi35(CoAIMn)1.5/Mg(简写为Mg/MmM5)多层薄膜吸放氢前后的结构变化和储氢性能。XRD表明Mg/MmM5多层膜中Mg层的储氩性能有一定程度的改善,吸傲氢温度分别为473K和523K。用透射电镜(TEM)分析方法研究了快速热退火(RTA)处理前后Mg/MmM5多层薄膜的微现结构的变化。Mg/MmM5多层膜中Mg层和MmM5层的结构与村底的温度和材料本身的性质有密切关系。Mg/MmM5多层膜在400℃经过3min RTA处理后,Mg层中