【摘 要】
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采用超高真空热丝化学气相沉积（HFCVD）系统,以甲烷和氢气为反应气体,在高速钢W18Cr4V基体上利用3种不同的过渡层（WC、Cr、WC/Cr）制备金刚石薄膜。采用场发射扫描电子显微镜（FE–SE
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采用超高真空热丝化学气相沉积（HFCVD）系统,以甲烷和氢气为反应气体,在高速钢W18Cr4V基体上利用3种不同的过渡层（WC、Cr、WC/Cr）制备金刚石薄膜。采用场发射扫描电子显微镜（FE–SEM）、X射线衍射仪（XRD）、显微激光拉曼光谱仪（Raman）以及洛氏硬度计对过渡层和金刚石薄膜进行检测分析,研究了不同过渡层对金刚石薄膜形貌质量和附着性能的影响。结果表明,3种过渡层均可以有效减少钢基中Fe对金刚石薄膜的负面影响,提高金刚石的形核率;其中,采用WC/Cr过渡层时膜基间残余应力最小,仅为0.25
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