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本文利用UMT-2M微摩擦试验机,采用线性加载条件下的刻划方式考察了单晶硅表面的微摩擦性能,并采用扫描电子显微镜对其机理进行分析.
单晶Si表面微观磨损机理的SEM研究
【摘 要】
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本文利用UMT-2M微摩擦试验机,采用线性加载条件下的刻划方式考察了单晶硅表面的微摩擦性能,并采用扫描电子显微镜对其机理进行分析.
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州);河南大学特种功能材料重点实验室(河南开封)中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州)河南大学特种功能材料重点实验室(
【出 处】
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第二届全国扫描电子显微学会议
【发表日期】
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2003年11期
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