SiO_2/Si表面电子谱的因子分析法研究

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zyr2007
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用因子分析法在扫描俄歇微探针(SAM)上研究了SiO2/Si的俄歇深度剖面分析。采用Ar+离子刻蚀SiO2/Si样品,分别采录具有高表面灵敏度和化学态灵敏度的低能SiLVV俄歇跃迁和OKLL俄歇跃迁。用因子分析法可得到一致的结果:SiO2/Si界面上存在中间过渡化学态SiOx(0<x<2),以及SiO2经Ar+离子刻蚀后产生少量(约10%)的SiOx及相当一部分(约30%~50%)的SiO2的另一状态SiO2*。 The Auger depth profile analysis of SiO2 / Si was investigated by scanning electron microscopy (SAM) using factor analysis. SiO2 / Si samples were etched with Ar + ions, and the low-energy SiLVV Auger transitions and OKLL Auger transitions with high surface sensitivity and chemical sensitivity were recorded. A consistent result is obtained by factorial analysis: SiOx (0
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