用于紫外探测器DBR结构的高质量AlGaN材料MOCVD生长及其特性研究

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【摘要】

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利用MOCVD方法在(0001)取向的蓝宝石衬底上实现了不同工艺条件下的高质量AlGaN材料的制备.得到了无裂纹的全组分AlxGa1-xN(0＜x＜1)薄膜.通过XRD,SEM,AFM等测量分析方法系统研究

【作者】

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谢自力张荣修向前韩平刘斌陈琳俞慧强江若琏施毅

【机构】

：

江苏省光电功能材料重点实验室

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

AlGaN DBR 紫外探测器 MOCVD

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利用MOCVD方法在(0001)取向的蓝宝石衬底上实现了不同工艺条件下的高质量AlGaN材料的制备.得到了无裂纹的全组分AlxGa1-xN(0＜x＜1)薄膜.通过XRD,SEM,AFM等测量分析方法系统研究了生长工艺参数对材料的结构质量、组分、厚度和表面形貌的影响.分析了不同生长工艺对AlGaN材料特性的影响.研制的高质量AlGaN材料在紫外探测器的DBR结构应用中得到比较好的特性.

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