在工具显微镜上进行干涉条纹瞄准法的研究

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干涉条纹瞄准是非接触尺寸测量的一门技术。作为一种新的瞄准方法,它不仅保持了普通接触式和非接触式瞄准的优点,而且显示出更好的性能和更高的精度。本文介绍了这种方法的基本原理,理论分析和实验总结。另外还就在工具显微镜上运用这种方法的一些具体问题作了说明。由于这种瞄准方法的精度高、成本低并且易于掌握它,在提高测量精度方面开始成为引人注目的新方法。 Aiming at interference fringes is a technique for non-contact dimensional measurement. As a new aiming method, it not only maintains the advantages of normal contact and non-contact aiming, but also shows better performance and higher precision. This article describes the basic principles of this method, theoretical analysis and experimental summary. In addition, some specific problems of using this method on a tool microscope are also described. Due to its high precision, low cost and easy grasp, this aiming method has become an attractive new method for improving measurement accuracy.
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