硫化锌基底增透膜工艺研究

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叙述了在硫化锌(ZnS)基底上制备8~12μm波段红外增透膜的工艺研究,包括膜系设计与选择、薄膜制备工艺试验和研究,并给出了相应的红外增透膜透过性能的测试结果。
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