Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub>相变薄膜光学及擦除性能研究

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lanmei01
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利用蓝绿激光对非晶态Ge2Sb2R5相变薄膜进行擦除性能的研究,分别用1000ns,500ns,100ns,60 ns脉宽的蓝绿激光进行实验.结果表明,一定脉宽下,反射率对比度随擦除功率的增加而增大.并且,在1000 ns,500ns,100ns,60 ns的激光作用时间范围内,非晶态薄膜均可转变成晶态.对于脉宽为60 ns的蓝绿激光,擦除功率大于4.49 mW以后,薄膜的反射率对比度高于15%,这表明Ge2Sb2Te5相变薄膜在短脉宽、低擦除功率条件下,可具有较高的晶化速度.同时,分析了非晶态和晶态Ge2Sb2乳5相变薄膜的光谱特性,对比研究了780 nm,650 nm,514 nm和405 nm波长处的反射率和反射率对比度,提出了Ge2Sb2R5相变薄膜用于蓝光光盘的改进方法.
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