新型Si基毫米波VGCPW建模

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基于Si基0.18μm标准CMOS工艺研究新型低损耗V型结构接地共面波导(VGCPW),用HFSS软件建立物理模型,进行三维电磁仿真,研究内部电磁场分布。采用ADS软件的传输线模型卡及其目标优化控件,建立适合于毫米波段CMOS单片集成电路仿真和设计的新型低损耗VGCPW等效传输线模型。
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