【摘 要】
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对于大观模集成电路(LSI)的制造厂家来说,头等重要的是实际的成本——有效方式内制作高可靠产品。用于确保产品可靠性的技术之一是在制作过程中利用一个或多个地点的直流参
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对于大观模集成电路(LSI)的制造厂家来说,头等重要的是实际的成本——有效方式内制作高可靠产品。用于确保产品可靠性的技术之一是在制作过程中利用一个或多个地点的直流参数测试。最普通的方法是在每一个片子上的几个关键部位制作专门设计的测试图形,并对它们进行参量设计。每个测试图
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