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通过结合自已的实际工作，分别从伺服进给机构，位置检测技术，数控及伺服控制等几个方面对超精密机床的定位系统进行了说明
超精密定位中的几项相关关键技术
【摘 要】
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通过结合自已的实际工作，分别从伺服进给机构，位置检测技术，数控及伺服控制等几个方面对超精密机床的定位系统进行了说明
【机 构】
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哈尔滨工业大学精加工研究室
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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1998年03期
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