【摘 要】
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相比于传统陀螺仪,MEMS振动陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、价格低廉等优势,但是由于其本身结构的局限性和工艺加工水平的限制,其在性能上还处于低精度陀螺仪的行列。目
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,中国科学院物联网研究发展中心,中国科学院大学,昆山光微电子有限公司
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相比于传统陀螺仪,MEMS振动陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、价格低廉等优势,但是由于其本身结构的局限性和工艺加工水平的限制,其在性能上还处于低精度陀螺仪的行列。目前已有若干MEMS自校准方案可以应用于MEMS振动陀螺仪以提高其精度指标,然而已有的技术存在着只能消除某一种因素对精度的影响、需要高精度转台系统支撑或者校准的灵敏度不高等不足。为解决上述问题,设计并提出了一种基于相位读出的MEMS振动陀螺仪自校准方案,该方案能消除工艺误差、器件老化、外部环境变化对陀螺仪精度的影响,而且该方案不需要高精度转台系
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