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本文介绍了由微型机控制的线宽标准测量系统。该系统用最大位移量为160μm、直线性小于1.5″的弹性铰链微动工作台作为x方向扫描驱动,压电晶体调焦。可工作在散射光照明或部分相干光照明条件下。测量不确定度小于±0.1μm。同时还研制了一套可供厂家使用的掩膜线宽标准样板。
线宽标准的研究
【摘 要】
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本文介绍了由微型机控制的线宽标准测量系统。该系统用最大位移量为160μm、直线性小于1.5″的弹性铰链微动工作台作为x方向扫描驱动,压电晶体调焦。可工作在散射光照明或部
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1989年3期
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