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基于半导体式气体传感原理，提出了利用MEMS技术将电化学生长的A1。O。膜加工成微热板结构载体，采用平面薄膜工艺制做Pt薄膜加热电阻和信号电极。在微热板的2个电极上，涂敷1-Fe。O3SnO2-Pt—Pd形成煤油蒸气敏感单元，实现在微结构体上气体检测的二单元集成。传感器采用脉冲工作方式，工作周期为30s，在加热峰值形成高温400℃的煤油检测条件。测试结果表明：煤油（标志物：癸烷）检测可实现体积分数（0-7000）×10“范围，90％的吸附响应时间小于8S，脱附响应时间小于12s，传感器信号输出与