【摘 要】
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本文用剥层法、扩展电阻测定法验证了利用开管方式扩散镓,能使元素镓的杂质分布服从典型高斯分布,这一分布应用于晶闸管器件生产中,对提高产品控制极参数一致性,改善器件动态
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本文用剥层法、扩展电阻测定法验证了利用开管方式扩散镓,能使元素镓的杂质分布服从典型高斯分布,这一分布应用于晶闸管器件生产中,对提高产品控制极参数一致性,改善器件动态特性非常有效。
In this paper, the delamination method and extended resistance method are used to verify that using the open-tube method to diffuse gallium, the impurity distribution of elemental gallium can obey the typical Gaussian distribution. This distribution is applied to the production of thyristor devices, It is very effective to improve the dynamic characteristic of the device.
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