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利用射频磁控溅射法在室温下制备出了掺锆氧化锌（ZnO∶Zr）透明导电薄膜。研究了溅射压强对ZnO∶Zr薄膜表面形貌、结构、光学和电学性能的影响。结果表明：ZnO∶Zr薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜，且具有c轴择优取向，溅射压强对薄膜电阻率有显著影响，压强为1.5Pa时，电阻率具有最小值1.77×10^-3Ω·cm。所制备的ZnO∶Zr薄膜具有良好的附着性能，在可见光区平均透过率超过93%。