高能量密度脉冲等离子枪在硬质合金刀具上沉积高硬耐磨涂层研究

来源 :2003年第六届全国工程陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：WOBENLAI

【摘要】

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用高能量密度脉冲等离子体枪,于室温下在硬质合金刀具基体上分别成功沉积了硬度高、耐磨损、膜基结合力强的TiN、TiCN和TiAlN薄膜.在优化的工艺条件下,所得TiN、TiCN、TiAlN

【作者】

：

苗赫濯彭志坚杨思泽刘赤子齐龙浩

【机构】

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清华大学材料系,清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室(北京)中国科学院物理研究所(北京)

【出处】

：

2003年第六届全国工程陶瓷学术年会

【发表日期】

：

2003年12期

【关键词】

：

高能量密度脉冲等离子体硬质合金刀具耐磨涂层薄膜沉积

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用高能量密度脉冲等离子体枪,于室温下在硬质合金刀具基体上分别成功沉积了硬度高、耐磨损、膜基结合力强的TiN、TiCN和TiAlN薄膜.在优化的工艺条件下,所得TiN、TiCN、TiAlN薄膜纳米硬度分别可达27GPa、50GPa和38GPa;杨氏模量分别可达450GPa、550GPa、650GPa.纳米划痕实验临界载荷分别达90mN、110mN和100mN以上.切削实验表明,涂层刀具可用于高速切削,刀具后面磨损明显减小.刀具力学性能的改善归因于更优异力学性能涂层的沉积、良好的膜基结合力以及涂层特殊的显微结构.

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