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离子探针(SIMS)是一种固体原位微区分析技术，具有很多其它的仪器分析技术所不具备的优点，在地球化学分析研究中有独特的作用，主要用于元素含量和同位素组成的测定，能对大多数元素进行微区、微量、高灵敏度和高分辨率的分析．结合目前的一些研究资料，本文对SIMS的基本结构和原理、测定精度和准确度的影响因素以及一些典型的校正方法进行了讨论，并简单介绍了SIMS技术在地球化学领域中的应用。