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本文首先介绍了吸附-扩散方程及其对钡膜、钛膜常温吸气动力学曲线的解释;随后介绍了钡膜吸气机理的 Mott 模型及其局限性。近年来,表面分析技术表明:对A 类金属薄膜室温吸气机理应用 Anderson 模型、ⅣB 类金属块高温吸气机理应用 Wagner 模型是比较正确的,本文主要阐述这二种模型。
ⅡA类金属(钡、锶、钙)膜室温与ⅣB类金属(钛、锆、铪)块高温的吸气机理
【摘 要】
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本文首先介绍了吸附-扩散方程及其对钡膜、钛膜常温吸气动力学曲线的解释;随后介绍了钡膜吸气机理的 Mott 模型及其局限性。近年来,表面分析技术表明:对A 类金属薄膜室温吸气
【机 构】
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清华大学,北京电子管厂,北京真空电子器件研究所,北京真空电子器件研究所,
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1981年05期
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