【摘 要】
：
硅片背损伤对雾缺陷吸除的影响的研究刘峥，翟富义，张椿，尤重远（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：硅片，背损伤，雾缺陷，吸除作用（一）引言双极型与ＮＭＯＳ集成电路制造用硅抛光片经常会遇到“雾缺陷”
论文部分内容阅读
硅片背损伤对雾缺陷吸除的影响的研究刘峥，翟富义，张椿，尤重远（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：硅片，背损伤，雾缺陷，吸除作用（一）引言双极型与ＮＭＯＳ集成电路制造用硅抛光片经常会遇到“雾缺陷”问题，它是指经过高温（大于１０５０℃）氧化后的ｐ...
Study on the Effect of Waist Dorsal Injury on Absorption of Fog Defects Liu Zheng, Zhai Fuyi, Zhang Chun, You Qiangyuan (Beijing Nonferrous Metal Research Institute, Beijing 100088, China) Keywords: ) Introduction Bipolar and NMOS integrated circuits with silicon polishing often encounter “mist defect” problem, it refers to the high temperature (greater than 1050 ℃) after the oxidation of p ...
其他文献
探索“以文补文”不是权宜之计,因此,艺术表演团体必须根据自身的特点,坚持大胆探索,稳步发展,因地因团制宜地走自己“以文补文”的路子,正确处理好相互之间的关系,这是一个
本文分析了一种新型的毫米波ＴＷＴ慢波电路─—双交错式梯形电路。提出了求解双交错梯形慢波电路色散特性的三维有限元法和腔场平均法，求得了双交错慢波结构的三维场分布，同时进行了
穿过闽赣交界的层层山林,火车驶进了向往已久的英雄城南昌,来到了《足俱》发源的地方。下火车的那一刻,感觉到气息格外的亲切,终于和相识8年的老友在南昌有了第一次直接的亲
教学过程Step 1.Warming up Sing a song“Today is National Day”.师生同唱歌曲, 配以动作复习“talked,walked, didn’t”等相关词汇。Step 2.Leading 1.Guessing game:sh
巴西的球迷在美洲杯赛后都显得异常兴奋,原因并不仅仅是巴西队卫冕成功和阿莫鲁索以及小罗纳尔多的锋芒初露,其中很重要的一点是他们找到了塔法雷尔的继承人——迪达。 当这
在人们渐渐封尘的记忆里,似乎还能依稀记起喀麦隆球星里戈贝特·宋。不仅在于他少年得志,16岁就入选国家队参加了美国世界杯,更因为他连续两届世界杯都有被红牌罚出场的火爆
河南省省会郑州市正在从整个大环境考虑,提出建设城市、郊区绿化一体化、建设省会大园林的构想。构想准备从现在起,用近10年的时间完成郑州城乡的绿化任务,争取到2000年,从
互联网正在改变着人们的工作和生活方式,也在改变着教育和学习的方式。运用信息技术于学校管理和教育教学,已成为学校改革的重要内容。互联网为德育工作提供了历史的机遇,创
本文报道了４—甲氧基苯酚４′—正烷氧基—２′，３′，５′，６′—四氟联苯甲酸酯的合成方法及相变性质，并讨论了此类液晶的结构和性质的关系。
This paper reports the synthesis of 4-meth
1、检测鉴定:由专业检测机构按照国家标准,行业标准或者有关技术指标进行检验、测试和评价,并作出结论;2、验收鉴定:由验收单位按照计划任务书或所规定的验收指标和方法进行